PIEZODRIVE 掃描管TB系列壓電掃描管,用于納米定位
TB系列PIEZODRIVE 掃描管
PIEZODRIVE 壓電致動器是由徑向極化的壓電材料制成的細圓柱體,具有四個外部電極和一個連續(xù)的內(nèi)部電極。當(dāng)電壓施加到其中一個外部電極時,管的自由端將向施加電壓的一側(cè)彎曲。通過對所有外部電極施加相等的電壓或?qū)?nèi)部電極施加電壓,可以實現(xiàn)垂直伸長。
TB系列壓電掃描管廣泛用于掃描探針顯微鏡作為XYZ納米定位器,以及其他如微操作和光束掃描等應(yīng)用。TB系列壓電掃描管可以單獨訂購,也可以選擇包括連接到TD250-INVPIEZODRIVE 電壓放大器的布線和連接器選項,以及便于組裝的安裝表面??梢愿鶕?jù)要求提供定制尺寸和/或電極配置。
型號 | 長度(1) | 直徑(2) | 壁厚(3) | 電極間隙(4) | 最大電壓(5) | 掃描范圍(6) | 擴展范圍(7) | 共振頻率(8) | 象限電容(9) |
TB1005-N | 10.0 mm | 5.0 mm | 0.66 mm | 0.7 mm | ± 264 V | 3.8 um | 2.1 um | 25 kHz | 3 nF |
TB1006-S | 10.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 3.2 um | 2.1 um | 31 kHz | TBC |
TB2006-S | 20.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 13 um | 4.2 um | 7.7 kHz | TBC |
TB3006-S | 30.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 29 um | 6.3 um | 3.4 kHz | TBC |
TB3507-N | 35.0 mm | 7.0 mm | 0.66 mm | 0.7 mm | ± 264 V | 39 um | 7.4 um | 3.0 kHz | 10 nF |
TB4006-S | 40.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 51 um | 7.4 um | 1.9 kHz | TBC |
TB5006-S | 50.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 80 um | 11 um | 1.2 kHz | TBC |
TB5509-N | 55.0 mm | 9.0 mm | 0.6 mm | 0.7 mm | ± 250 V | 64 um | 12 um | 1.6 kHz | 17 nF |
TB6006-N | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 114 um | 13 um | 850 Hz | 12 nF |
TB6006-S | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 114 um | 13 um | 860 Hz | TBC |
TB10006-S | 100.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 318 um | 21 um | 310 Hz | TBC |
1,長度公差:±0.2毫米
2,直徑公差:±0.2毫米
3,厚度公差:±0.1毫米
4,外部電極之間以及電極與管端之間的間隙公差:+0.3毫米,-0.2毫米
5,任意外部電極與接地內(nèi)部電極之間的最大推薦雙極電壓
6,當(dāng)最大電壓施加到X或Y電極且內(nèi)部電極接地時,固定基座和自由端的峰值峰值水平偏轉(zhuǎn)。公差:-0%,+50%
7,當(dāng)最大電壓施加到所有外部電極且外部電極接地時的峰值峰值垂直偏轉(zhuǎn)。公差:-0%,+50%
8,固定基座和自由端的第一彎曲模態(tài)共振頻率,見下方計算器。公差:±20%
9,一個外部電極和內(nèi)部電極之間的電容。公差:±30%
由TD250-INVPIEZODRIVE 電壓放大器驅(qū)動的壓電管接線圖。X軸偏轉(zhuǎn)由In1信號(±10V)控制,產(chǎn)生在+X電極上的非反相±250V信號,以及在-X電極上的反相±250V信號。在In1上施加+10V信號時,管子向+X電極最大偏轉(zhuǎn);施加-10V信號時,管子向-X電極最大偏轉(zhuǎn)(如圖所示)。Y軸驅(qū)動方案與X軸相同。垂直Z軸偏轉(zhuǎn)由In5(0V至-10V)控制,產(chǎn)生在內(nèi)部電極上的負(fù)電壓(最高至-250V),并產(chǎn)生相當(dāng)于垂直行程范圍一半的收縮。當(dāng)同時驅(qū)動三個軸時,僅能使用垂直行程范圍的一半。
電極
這些管子配有銀或鎳薄膜電極。電極材料由訂購代碼后綴確定,-S表示銀,-N表示鎳。銀是通用應(yīng)用和高磁場環(huán)境的材料。鎳電極更耐氧化且更易焊接,但成本較高。
內(nèi)部電極是連續(xù)的,外部電極分為四部分??梢酝ㄟ^稀硝酸蝕刻去除電極區(qū)域??梢愿鶕?jù)要求提供定制電極配置。
電極間隙規(guī)格是指從兩端去除的外部電極長度,以提供與安裝表面的電氣間隙。內(nèi)部電極是連續(xù)的。
在需要最高抗氧化性的應(yīng)用中,可以根據(jù)特別要求提供金電極。
PIEZODRIVE 壓電掃描管訂貨號:
(管順序代碼)-(底座)-(頂蓋)-(底蓋)-(組裝)-(接線)-(連接器)- l(長度)
管訂單代碼:如TB6006-S
底座:如果沒有底座或B則為空白
頂蓋:如果沒有頂蓋,則為空白
底蓋:如果沒有上蓋或BC,則為空白。不帶底座
組裝:如果沒有組裝(膠合)或A,則為空白,只有B, TC或BC可用
接線:無接線則為空白。如果管接線只提供與組件。V型用于垂直布線,不帶底座。H為水平布線,不帶底座。
連接器:空白,用于非端接導(dǎo)線或DSUB。僅在選擇接線選項時可用。
長度:布線長度,單位為米。僅在選擇接線選項時可用。
示例1:TB6006-S管,帶頂帽底座,配1m D-Sub電纜: TB6006-S-B-TC-A-W-DSUB-L1
示例2:TB6006-S管1米無端接垂直接線: TB6006-S-V-L1
示例3:TB2006-S管,帶底座和頂蓋,但沒有組件或接線: TB2006-S-B-TC