国产精品一区二区三区黄-中文字幕亚洲综合精品-av天堂最新版在线观看-国产一区二区三区综合精品视频

咨詢熱線

13916854983

當前位置:首頁  >  產(chǎn)品展示  >  行業(yè)專用儀器  >  光刻紫外LED曝光系統(tǒng)  >  瑞士IDONUS 光刻紫外LED曝光系統(tǒng)

瑞士IDONUS 光刻紫外LED曝光系統(tǒng)

簡要描述:關(guān)于瑞士IDONUS 光刻紫外LED曝光系統(tǒng)
瑞士idonus是一家專注于微型工程行業(yè)專業(yè)設(shè)備設(shè)計和制造的微技術(shù)公司。核心競爭力有:MEMS設(shè)備(MicroElectroMechanical Systems)、離子注入 機器視覺和光學解決方案、光伏設(shè)備、工程服務(wù)和原型或小批量生產(chǎn)

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-08-18
  • 訪  問  量:285
產(chǎn)品分類PRODUCT

我們相信好的產(chǎn)品是信譽的保證!

查看全部
相關(guān)文章ARTICLES

做良心企業(yè) 創(chuàng)誠信品牌

詳細介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子,電氣,綜合

瑞士IDONUS 光刻紫外LED曝光系統(tǒng)


關(guān)于瑞士IDONUS 光刻紫外LED曝光系統(tǒng)

瑞士idonus是一家專注于微型工程行業(yè)專業(yè)設(shè)備設(shè)計和制造的微技術(shù)公司。核心競爭力有:MEMS設(shè)備(MicroElectroMechanical Systems)、離子注入 機器視覺和光學解決方案、光伏設(shè)備、工程服務(wù)和原型或小批量生產(chǎn)


VPE由反應(yīng)室和蓋子組成。加熱元件集成在蓋子中。它控制要蝕刻的基板的溫度。晶圓夾持可以通過兩種方式實現(xiàn):晶圓可以通過使用夾緊環(huán)進行機械夾緊。擰緊是從設(shè)備的背面完成的,該背面從不與 HF 蒸汽接觸。3 個螺母易于戴防護手套處理。另一種選擇是靜電夾緊。單個芯片(長度超過 10 毫米)和晶圓可以夾在加熱元件上。晶圓的背面受到保護,不會被蝕刻。

液態(tài)HF被填充到反應(yīng)室中。反應(yīng)室用蓋子封閉。HF蒸氣在室溫下產(chǎn)生,蝕刻過程自發(fā)開始。蝕刻速率由晶圓溫度控制,晶圓溫度可在 35°C 至 60°C 之間調(diào)節(jié)。 處理后,酸可以儲存在儲液罐中,以便在可密封的容器中重復使用。
液體輸送只需用手柄降低連通儲液罐即可完成。由于重力作用,酸流入儲層,可以通過兩個閥門關(guān)閉。通過打開閥門并抬起手柄來重新填充反應(yīng)室。酸流入反應(yīng)室。酸可以重新用于多次蝕刻,直到必須更換。
VPE系統(tǒng)占地面積小,可以很容易地集成到現(xiàn)有的流箱中。


產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
镇远县| 定边县| 出国| 光山县| 高青县| 保德县| 井陉县| 永安市| 遂川县| 盘锦市| 宝山区| 高青县| 浏阳市| 桓台县| 普兰店市| 滁州市| 石嘴山市| 郸城县| 望谟县| 滦平县| 高安市| 民勤县| 修武县| 丰顺县| 都江堰市| 和顺县| 花莲县| 延寿县| 颍上县| 阜城县| 凌海市| 攀枝花市| 五台县| 札达县| 南丰县| 商南县| 手机| 新乡市| 建水县| 尚志市| 汕头市|